应用于晶圆级 Polyimide, BCB及PBO等有机材料的固化,wafer annealing, 实现全自动化操作及高产出,提供快速的升降温、高洁净度、低氧浓度,保证产品的质量及产能。
应用于晶圆级 Polyimide, BCB及PBO等有机材料的固化,wa...
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